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1. 设备运作原理环保，自带真空腔，可自行回收处理后的悬浮颗粒。
2. 能源损耗少，与同阶段的设备对比极大程度的减轻了设备的使用成本。
3. 进行超声清洗工作时清洗头无需与产品进行接触，减少了对产品的损伤。
| 编号 | 项目 | 技术参数 |
| 1 | 工作电压 | 三相380V 50Hz |
| 2 | 工作环境 | 干燥无尘车间 |
| 3 | 除尘有效宽幅 | 100-700mm |
| 4 | 吸风口前后端风压 | -5-0Kpa |
| 5 | 出风口前后端风压 | 0-35Kpa |
| 6 | 出风口温度 | ≤45℃ |
| 7 | 风机外壳温度 | ≤45℃ |
| 8 | 风机设定频率 | 0-60Hz |
| 9 | 风机实时频率 | 0-60Hz |
| 特点 | 1. 设备运作原理环保，自带真空腔，可自行回收处理后的悬浮颗粒。 2. 能源损耗少，与同阶段的设备对比极大程度的减轻了设备的使用成本。 3. 进行超声清洗工作时清洗头无需与产品进行接触，减少了对产品的损伤。 | |
| 应用 | 主要应用于玻璃基板，LCD基板，单晶硅片，薄膜等平面类产品的表面除尘。 | |
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