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1. 进料流水线运动模组采用伺服电机+滚珠丝杆模组运动，有效保证精度，降低尘污；
2. 真空腔内置4条轨道，可一次处理4片物料，UPH可达500载板/小时；
3. 所有运动机构均采用成熟运动方案，设备稳定性及故障率得以有效控制，在线式真空等离子清洗机自动搬运物料的设计要求，与常规等离子清洗系统相比，降低了人工搬运过程，提高了设备自动化水平。
| 编号 | 项目 | 技术参数 |
| 1 | 整机规格 | 1600*1500*2150mm(包含FFU及报警指示灯等) |
| 2 | 进出料方式 | 流水线全自动进出料 |
| 3 | 放电结构 | 真空容式辉光放电 |
| 4 | 处理温度 | ≤50℃ |
| 5 | 单次处理载板数 | 4片 |
| 6 | 载板最大尺寸 | (200-285) *(110-155) *(4-8.7) mm |
| 7 | 设备产能 | 理论值≥500载板/小时 |
| 8 | 净化防护 | 百级FFU净化过滤系统 |
| 特点 | 1.进料流水线运动模组采用伺服电机+滚珠丝杆模组运动，有效保证精度，降低尘污。 2.真空腔内置4条轨道，可一次处理4片物料，UPH可达500载板/小时。 3.所有运动机构均采用成熟运动方案，设备稳定性及故障率得以有效控制。 | |
| 行业 | 适用于摄像头、手机制造、半导体IC领域、硅胶、塑胶、聚合体领域、汽车电子、航空工业等。 | |
| 应用 | IC封装中引线框架上点胶装片、芯片键合及塑封等工艺前清洗。 | |
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